物理学报2005，Vol.54Issue(5)：2394-2398,5.
螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究
Optical emission diagnosis of helicon-wave-plasma-enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon
摘要
关键词
光学发射谱/螺旋波等离子体化学气相沉积/纳米硅薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
于威,王保柱,杨彦斌,路万兵,傅广生..螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究[J].物理学报,2005,54(5):2394-2398,5.基金项目
河北省自然科学基金(批准号503129)资助的课题. （批准号503129）
