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PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究

张吉明 廖源 张五堂 余庆选 傅竹西

量子电子学报2008，Vol.25Issue(2)：240-245,6.
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量子电子学报2008，Vol.25Issue(2)：240-245,6.

PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究

Growth and properties of ZnO film on CVD diamond film by pulsed laser deposition

张吉明 1廖源 2张五堂 1余庆选 2傅竹西2

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学理化科学实验中心,安徽,合肥,230026
  • 2. 中国科学技术大学物理系,安徽,合肥,230026
  • 折叠

摘要

关键词

材料/氧化锌薄膜/脉冲激光沉积法/金刚石/应力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张吉明,廖源,张五堂,余庆选,傅竹西..PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究[J].量子电子学报,2008,25(2):240-245,6.

基金项目

国家自然科学基金(50532070)和安徽省自然科学基金(070412034)资助项目 （50532070）

量子电子学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-5461

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