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射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

黄建军 余建华

物理学报2001，Vol.50Issue(12)：2403-2407,5.
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物理学报2001，Vol.50Issue(12)：2403-2407,5.

射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究

PLASMA DIAGNOSIS OF RF DISCHARGE BY USING IMPEDANCE MEASUREMENT

黄建军 1余建华2

作者信息

  • 1. 深圳大学理学院实验中心,深圳,518060
  • 2. 深圳大学光电子系,深圳,518060
  • 折叠

摘要

关键词

射频放电/阻抗测量/等离子体诊断

分类

数理科学

引用本文复制引用

黄建军,余建华..射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究[J].物理学报,2001,50(12):2403-2407,5.

基金项目

广东省自然科学基金(批准号:980922)资助的课题 （批准号:980922）

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

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