物理学报2002,Vol.51Issue(10):2407-2410,4.
中子辐照直拉硅中的本征吸除效应
The intrinsic gettering in neutron irradiation czochralski-silicon
摘要
关键词
本征吸除/中子辐照/直拉硅分类
数理科学引用本文复制引用
李养贤,刘何燕,牛萍娟,刘彩池,徐岳生,杨德仁,阙端鳞..中子辐照直拉硅中的本征吸除效应[J].物理学报,2002,51(10):2407-2410,4.基金项目
国家自然科学重点基金(批准号:50032010),河北省自然科学基金和天津市自然科学基金重点资助的课题. (批准号:50032010)