中国机械工程2008，Vol.19Issue(20)：2407-2411,5.
无抛光垫化学机械抛光技术研究
Study on Pad-free Chemical Mechanical Polishing Technology
摘要
关键词
化学机械抛光/抛光垫/复合粒子/聚合物粒子分类
矿业与冶金引用本文复制引用
许雪峰,马冰迅,胡建德,彭伟..无抛光垫化学机械抛光技术研究[J].中国机械工程,2008,19(20):2407-2411,5.基金项目
浙江省自然科学基金资助项目(Y105551) （Y105551）
浙江省重中之重学科开放基金资助项目(AMT200708-28) （AMT200708-28）
