电解有机溶液法在Si表面制备类金刚石薄膜及退火对其结构的影响OA北大核心CSCD
ELECTRODEPOSITION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILMS FROM ORGANIC SOLVENTS AND EFFECTS OF ANNEALING ON THE FILM STRUCTURE
在对不同有机溶剂分子结构分析的基础上,选取甲醇、DMF(N,N-二甲基甲酰胺)和乙腈溶液为碳源,以脉冲直流电源电解有机溶液的方法在Si片上制得了含氢类金刚石薄膜(DLC薄膜),并研究了退火对薄膜结构的影响.通过X射线光电子能谱(XPS),喇曼(Raman)和红外(IR)光谱对薄膜的结构进行了分析表征.XPS表明薄膜的主要成分为C,喇曼光谱显示所得薄膜为典型DLC薄膜.喇曼和红外光谱还表明,膜中含有大量H并且主要键合于sp3碳处.随着退火的进行薄膜…查看全部>>
郭栋;蔡锴;李龙土;桂治轮
清华大学材料科学与工程系,北京,100084清华大学材料科学与工程系,北京,100084清华大学材料科学与工程系,北京,100084清华大学材料科学与工程系,北京,100084
数理科学
类金刚石薄膜退火
《物理学报》 2001 (12)
高频脉冲提高类金刚石薄膜中SP3相含量及机理研究
2413-2417,5
国家自然科学基金(批准号:59882001)资助的课题.
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