传感技术学报2007，Vol.20Issue(11)：2421-2425,5.
膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响
The Influence of Thickness on Piezoresistive Temperature Properties of Polysilicon Nanofilms
刘晓为 1潘慧艳 1揣荣岩 1王喜莲 2李金锋1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001
- 2. 沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳,110023
- 折叠
摘要
关键词
多晶硅纳米膜/压阻温度特性/应变系数/电阻率温度系数(TCR)/应变系数的温度系数(TCGF)分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘晓为,潘慧艳,揣荣岩,王喜莲,李金锋..膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响[J].传感技术学报,2007,20(11):2421-2425,5.
