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灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响

赵利军 毕冬梅 朱莉 王丽丽

长春大学学报（自然科学版）2007，Vol.17Issue(3)：24-26,3.
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长春大学学报（自然科学版）2007，Vol.17Issue(3)：24-26,3.

灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响

Influence of the distance between the filament and the substrate on the growth of large area diamond film

赵利军 1毕冬梅 2朱莉 2王丽丽2

作者信息

  • 1. 长春大学,特殊教育学院,吉林,长春,130022
  • 2. 长春大学,理学院,吉林,长春,130022
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石膜/灯丝平面与衬底间距/膜的质量

分类

数理科学

引用本文复制引用

赵利军,毕冬梅,朱莉,王丽丽..灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响[J].长春大学学报（自然科学版）,2007,17(3):24-26,3.

基金项目

吉林省科技厅科技基金资助项目(10647104) （10647104）

长春大学学报（自然科学版）

1009-3907

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