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脉冲激光沉积(PLD)原理及其应用

唐亚陆 杜泽民

桂林电子工业学院学报2006,Vol.26Issue(1):24-27,4.
桂林电子工业学院学报2006,Vol.26Issue(1):24-27,4.

脉冲激光沉积(PLD)原理及其应用

Application and Mechanism Analysis of Pulsed Laser Deposition

唐亚陆 1杜泽民2

作者信息

  • 1. 昆明理工大学,光电子新材料研究所,云南,昆明,650093
  • 2. 淮阴工学院,江苏,淮安,223001
  • 折叠

摘要

关键词

PLD系统/等离子体/准分子激光/最佳实验参数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

唐亚陆,杜泽民..脉冲激光沉积(PLD)原理及其应用[J].桂林电子工业学院学报,2006,26(1):24-27,4.

桂林电子工业学院学报

OACSTPCD

1673-808X

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