材料工程Issue(8)：24-27,4.
溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究
Research of Microactuator with PZT Prepared by Sol-gel
摘要
关键词
PZT薄膜/溶胶-凝胶法/各向异性刻蚀/微驱动器/MEMS分类
通用工业技术引用本文复制引用
邱成军,刘红梅,张辉军,赵全亮,孟丽娜,曹茂盛..溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究[J].材料工程,2007,(8):24-27,4.基金项目
黑龙江省青年科学技术专项资金(QC05C12) （QC05C12）
黑龙江大学杰出青年基金(JC200504) （JC200504）
