|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|陶瓷|溅射SiO2薄膜动力学分析

溅射SiO2薄膜动力学分析

王慧

陶瓷Issue(10)：24-27,4.
✕
陶瓷Issue(10)：24-27,4.

溅射SiO2薄膜动力学分析

Kinetics Analyse of the Sputtering SiO2 Film

王慧1

作者信息

  • 1. 中国建筑材料科学研究总院石英重点实验室,北京,100024
  • 折叠

摘要

关键词

蒙特卡罗法/SiO2/薄膜/表面质量

分类

化学化工

引用本文复制引用

王慧..溅射SiO2薄膜动力学分析[J].陶瓷,2008,(10):24-27,4.

陶瓷

1002-2872

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文