航空材料学报2002，Vol.22Issue(2)：24-28,5.
赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜
Preparation of nanometer thin films by nanosecond pseudospark beam ablation
摘要
关键词
纳秒脉冲电子束/纳米薄膜/烧蚀法分类
通用工业技术引用本文复制引用
韩丽君,江兴流,文雄伟..赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜[J].航空材料学报,2002,22(2):24-28,5.基金项目
国家自然科学基金资助(19275020) （19275020）
航空科学基金资助(00G51004) （00G51004）
