物理学报2007，Vol.56Issue(4)：2428-2433,6.
表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性
Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films
摘要
关键词
超大规模集成电路/声表面波/传输方向/频散特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
肖夏,尤学一,姚素英..表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性[J].物理学报,2007,56(4):2428-2433,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60406003)和天津市自然科学基金(批准号:043612311)资助的课题. （批准号:60406003）
