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沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

陈敏 魏合林 刘祖黎 姚凯伦

物理学报2001，Vol.50Issue(12)：2446-2451,6.
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物理学报2001，Vol.50Issue(12)：2446-2451,6.

沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

EFFECT OF LOW-ENERGY DEPOSITION PARTICLES ON INITIAL STAGE OF THIN FILM

陈敏 1魏合林 2刘祖黎 3姚凯伦3

作者信息

  • 1. 华中科技大学物理系,武汉,430074
  • 2. 岳阳师范学院物理系,岳阳,414000
  • 3. 华中科技大学物理系,武汉,430074
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜生长,Monte Carlo方法,扩散

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈敏,魏合林,刘祖黎,姚凯伦..沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响[J].物理学报,2001,50(12):2446-2451,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:19774023)资助的课题. （批准号:19774023）

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

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