光学精密工程2003，Vol.11Issue(3)：245-249,5.
激光干涉微轮廓测量仪
Laser profilometer
宋康 1赵玉龙 1蒋庄德1
作者信息
- 1. 西安交通大学,机械工程学院,陕西,西安,710049
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摘要
关键词
微轮廓测量仪/压电陶瓷/激光干涉分类
机械制造引用本文复制引用
宋康,赵玉龙,蒋庄德..激光干涉微轮廓测量仪[J].光学精密工程,2003,11(3):245-249,5.基金项目
2000年教育部科学技术研究重点资助项目(No.00117) （No.00117）
