新型MEMS热流陀螺的制造OA北大核心CSCDCSTPCD
Fabrication of Novel MEMS Convective Gyroscope
MEMS热流陀螺是一种基于热流体理论的新型陀螺.该器件利用封闭腔体内的气体作为敏感元件,代替了常规MEMS陀螺的复杂振动结构和悬挂质量块,具有抗大冲击、体积小、重量轻、成本低、可批量化生产等优点.本研究的目的是为了验证MEMS热流陀螺的可行性,主要介绍该器件的研制过程,包括流体场仿真和工艺实现.最后得到了MEMS热流陀螺及其输出曲线,测试结果很好地验证了基于热流体理论的MEMS热流陀螺的可行性.
吕树海;徐淑静;徐永青;徐爱东;罗蓉;杨拥军
中国电子集团公司第十三研究所,石家庄,050051中国电子集团公司第十三研究所,石家庄,050051中国电子集团公司第十三研究所,石家庄,050051中国电子集团公司第十三研究所,石家庄,050051中国电子集团公司第十三研究所,石家庄,050051中国电子集团公司第十三研究所,石家庄,050051
信息技术与安全科学
MEMS敏感元件热流体热流陀螺
《传感技术学报》 2008 (2)
248-251,4
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