传感技术学报2006，Vol.19Issue(6)：2488-2490,3.
一种面向微型传感器的新型微能源的结构设计与仿真
Design and Simulation of a Novel Micro Power System for Micro Sensor Devices
孙磊 1苑伟政 1乔大勇 1秦冲1
作者信息
- 1. 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072
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摘要
关键词
MEMS/同位素微电池/微型传感器件/大阵列多层压制/工艺集成分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙磊,苑伟政,乔大勇,秦冲..一种面向微型传感器的新型微能源的结构设计与仿真[J].传感技术学报,2006,19(6):2488-2490,3.
