材料工程Issue(1)：25-28,4.
射频功率对氧化铬薄膜的力学性能和耐磨损性能的影响
Effects of Radio Frequency Power on Mechanical Properties and Wear Resistance of Chromium Oxide Thin Films
摘要
关键词
磁控溅射/氧化铬薄膜/耐磨损性能分类
数理科学引用本文复制引用
罗飞,庞晓露,高克玮,杨会生,王燕斌..射频功率对氧化铬薄膜的力学性能和耐磨损性能的影响[J].材料工程,2007,(1):25-28,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50471091) （50471091）
