中国机械工程2008，Vol.19Issue(21)：2528-2531,2535,5.
典型碳化硅光学材料的超光滑抛光试验研究
Experimental Research on Super-smooth Polishing Process of Typical Silicon Carbide Materials
摘要
关键词
碳化硅/抛光/去除机理/表面粗糙度分类
机械制造引用本文复制引用
康念辉,李圣怡,郑子文,戴一帆..典型碳化硅光学材料的超光滑抛光试验研究[J].中国机械工程,2008,19(21):2528-2531,2535,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50775216) （50775216）
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室资助项目(JMTZ200705) （JMTZ200705）
