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远程控制在MOCVD系统中的设计与应用

胡荣旭 李存志 吴振森

西安电子科技大学学报(自然科学版)2005,Vol.32Issue(2):253-255,3.
西安电子科技大学学报(自然科学版)2005,Vol.32Issue(2):253-255,3.

远程控制在MOCVD系统中的设计与应用

Remote control in industrial automation

胡荣旭 1李存志 1吴振森1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学,理学院,陕西,西安,710071
  • 折叠

摘要

关键词

远程控制/工业控制/TCP/金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

胡荣旭,李存志,吴振森..远程控制在MOCVD系统中的设计与应用[J].西安电子科技大学学报(自然科学版),2005,32(2):253-255,3.

西安电子科技大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCD

1001-2400

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