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金刚石/碳化硅复合梯度膜制备研究

石玉龙 姜辛

无机材料学报2004，Vol.19Issue(1)：253-256,4.
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无机材料学报2004，Vol.19Issue(1)：253-256,4.

金刚石/碳化硅复合梯度膜制备研究

Preparation of Diamond/Silicon Carbide Films with Gradient Composition

石玉龙 1姜辛2

作者信息

  • 1. 青岛科技大学材料与环境科学学院,青岛,266042
  • 2. Fraunhofer Inst.for Sur.Eng.＆Thin Film,Bienroder Weg 54E,D-38108
  • 折叠

摘要

关键词

微波等离子体化学气相沉积/金刚石/复合梯度膜

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

石玉龙,姜辛..金刚石/碳化硅复合梯度膜制备研究[J].无机材料学报,2004,19(1):253-256,4.

基金项目

山东省自然科学基金(Y2001F10) （Y2001F10）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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