中国机械工程2007，Vol.18Issue(21)：2539-2542,4.
分离式片上微摩擦测试机构及其制作
An On-chip Micro-tribotester and Its Micro-fabrication
郭占社 1姜春福 2张欲晓 1郑德智1
作者信息
- 1. 北京航空航天大学,北京,100083
- 2. 北京信息高技术研究所,北京,100085
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摘要
关键词
片上微摩擦测试机构/体硅工艺/键合技术/动态摩擦因数/静态摩擦因数分类
机械制造引用本文复制引用
郭占社,姜春福,张欲晓,郑德智..分离式片上微摩擦测试机构及其制作[J].中国机械工程,2007,18(21):2539-2542,4.
