传感技术学报2008，Vol.21Issue(2)：255-257,3.
一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法
A Method of Simulating the Decoupling Property of Lateral Axis Micro Gyroscope Using Finite Element Tool
摘要
关键词
微陀螺/机械耦合/有限元工具/谐响应分析分类
数理科学引用本文复制引用
吕博,刘雪松,崔健,杨振川,闫桂珍..一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法[J].传感技术学报,2008,21(2):255-257,3.基金项目
国家自然科学基金资助"微米/纳米加工技术国家级重点实验室"(50575001) （50575001）
