内蒙古民族大学学报（自然科学版）2009，Vol.24Issue(3)：256-258,277,4.
Si(111)表面离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的计算机模拟
Simulations of the Structure Characteristic of Diamond-like Carbon Films Formed by Ion-beam-assisted Deposition on Silicon(111) Surface
摘要
关键词
类金刚石薄膜/Si(111)面/离子束辅助沉积/分子动力学模拟分类
数理科学引用本文复制引用
郭德成,李双,阎梦泽,赵艳春,李之杰..Si(111)表面离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的计算机模拟[J].内蒙古民族大学学报（自然科学版）,2009,24(3):256-258,277,4.基金项目
内蒙古自治区教育厅科研基金资助项目(NJ04062) （NJ04062）
