物理学报2009,Vol.58Issue(4):2565-2571,7.
纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析
Infrared analysis on hydrogen content and Si-H bonding configuration of hydrogenated nanocrystalline silicon thin films
摘要
关键词
氢化纳米晶硅薄膜/红外透射谱/氢含量/硅氢键合模式分类
数理科学引用本文复制引用
陈城钊,邱胜桦,刘翠青,吴燕丹,李平,余楚迎,林璇英..纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析[J].物理学报,2009,58(4):2565-2571,7.基金项目
国家重点基础研究发展计划(批准号:G2000028208)和韩山师范学院青年科研基金(批准号:0503)资助的课题. (批准号:G2000028208)