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纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

陈城钊 邱胜桦 刘翠青 吴燕丹 李平 余楚迎 林璇英

物理学报2009,Vol.58Issue(4):2565-2571,7.
物理学报2009,Vol.58Issue(4):2565-2571,7.

纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

Infrared analysis on hydrogen content and Si-H bonding configuration of hydrogenated nanocrystalline silicon thin films

陈城钊 1邱胜桦 1刘翠青 1吴燕丹 1李平 1余楚迎 2林璇英1

作者信息

  • 1. 韩山师范学院物理与电子工程系,潮州,521041
  • 2. 汕头大学物理系,汕头,515063
  • 折叠

摘要

关键词

氢化纳米晶硅薄膜/红外透射谱/氢含量/硅氢键合模式

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈城钊,邱胜桦,刘翠青,吴燕丹,李平,余楚迎,林璇英..纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析[J].物理学报,2009,58(4):2565-2571,7.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(批准号:G2000028208)和韩山师范学院青年科研基金(批准号:0503)资助的课题. (批准号:G2000028208)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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