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高气压反射式高能电子衍射仪监控脉冲激光外延氧化物薄膜

陈莺飞 彭炜 李洁 陈珂 朱小红 王萍 曾光 郑东宁 李林

物理学报2003，Vol.52Issue(10)：2601-2606,6.
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物理学报2003，Vol.52Issue(10)：2601-2606,6.

高气压反射式高能电子衍射仪监控脉冲激光外延氧化物薄膜

In-situ monitoring of the growth of oxide thin films in PLD using high-pressure reflection high energy electron diffraction

陈莺飞 1彭炜 1李洁 1陈珂 1朱小红 1王萍 1曾光 2郑东宁 1李林1

作者信息

  • 1. 中国科学院物理研究所,超导国家重点实验室,北京,100080
  • 2. 北京辉光技术研究所,北京 100080
  • 折叠

摘要

关键词

高温超导薄膜/RHEED

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈莺飞,彭炜,李洁,陈珂,朱小红,王萍,曾光,郑东宁,李林..高气压反射式高能电子衍射仪监控脉冲激光外延氧化物薄膜[J].物理学报,2003,52(10):2601-2606,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:10174093和59832050)和国家科技部重大基础研究规划项目(批准号:G1999064604)资助的课题. （批准号:10174093和59832050）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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