半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):260-262,3.
蓝宝石衬底上单晶InN薄膜的MOCVD生长
MOCVD Growth of InN Films on Sapphire Substrates
摘要
关键词
氮化铟/MOCVD/半峰宽/迁移率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
肖红领,王晓亮,杨翠柏,胡国新,冉军学,王翠梅,张小宾,李建平,李晋闽..蓝宝石衬底上单晶InN薄膜的MOCVD生长[J].半导体学报,2007,28(z1):260-262,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:60606002) (批准号:60606002)