液晶与显示2000，Vol.15Issue(4)：260-267,8.
TFT阵列金属电极的制备与性能
Preparation and Characterization of Metal Films in TFT Array
摘要
关键词
磁控溅射/TFT器件/溅射速率/金属薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王大海,杨柏梁,吴渊,刘传珍..TFT阵列金属电极的制备与性能[J].液晶与显示,2000,15(4):260-267,8.基金项目
中国科学院“九五”重大资助项目(KY951-A1-502)；吉林省“九五”科技攻关项目(970103-01) （KY951-A1-502）
