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双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真

陈伟平 王浩 刘骁 韩天 陈宏

传感技术学报2008,Vol.21Issue(2):261-264,4.
传感技术学报2008,Vol.21Issue(2):261-264,4.

双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真

Design and Simulation of a 2-DOF and Doubly-Decoupled Micromachined Gyroscope

陈伟平 1王浩 1刘骁 1韩天 1陈宏1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001
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摘要

关键词

MEMS/微机械陀螺/双自由度检测/双级解耦

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈伟平,王浩,刘骁,韩天,陈宏..双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真[J].传感技术学报,2008,21(2):261-264,4.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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