传感技术学报2008,Vol.21Issue(2):261-264,4.
双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真
Design and Simulation of a 2-DOF and Doubly-Decoupled Micromachined Gyroscope
陈伟平 1王浩 1刘骁 1韩天 1陈宏1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001
- 折叠
摘要
关键词
MEMS/微机械陀螺/双自由度检测/双级解耦分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈伟平,王浩,刘骁,韩天,陈宏..双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真[J].传感技术学报,2008,21(2):261-264,4.