机械制造与自动化Issue(6)：26-27,2.
5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展
The Judged Software and Its Expansion in Measuring of Position Finding Precision with 5528A Double-frequency Laser Interferometer
盛志冲 1王晓勇 1徐伟 2瞿网兰3
作者信息
- 1. 南京工业职业技术学院,江苏,南京,210016
- 2. 南京工程学校,江苏,南京,211135
- 3. 南京机械设备工程公司,江苏,南京,210004
- 折叠
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盛志冲,王晓勇,徐伟,瞿网兰..5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展[J].机械制造与自动化,2001,(6):26-27,2.
