电子学报1999，Vol.27Issue(8)：26-29,4.
集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的校验
Calibration of IC Process Simulator SSUPREM4
朱兆旻 1阮刚 1庞海舟 2冒慧敏2
作者信息
- 1. 复旦大学电子工程系,上海,200433
- 2. 上海先进半导体制造有限公司,上海,200233
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摘要
关键词
集成电路/工艺模拟/软件校验分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱兆旻,阮刚,庞海舟,冒慧敏..集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的校验[J].电子学报,1999,27(8):26-29,4.
