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快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的修饰

李宁 刘兴权 李娜 陈效双 陆卫 徐文兰 袁先璋 沈学础 黄绮 周均铭

半导体学报2000，Vol.21Issue(3)：264-267,4.
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半导体学报2000，Vol.21Issue(3)：264-267,4.

快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的修饰

Modification of GaAs/A1GaAs Quantum Well Infrared Photodetectors by Rapid Thermal Annealing

李宁 1刘兴权 1李娜 1陈效双 1陆卫 1徐文兰 1袁先璋 1沈学础 1黄绮 2周均铭2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海 200083
  • 2. 中国科学院物理研究所北京 100080
  • 折叠

摘要

关键词

量子阱/红外探测器/快速退火/光电流谱

引用本文复制引用

李宁,刘兴权,李娜,陈效双,陆卫,徐文兰,袁先璋,沈学础,黄绮,周均铭..快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的修饰[J].半导体学报,2000,21(3):264-267,4.

基金项目

国家自然科学基金、中澳合作项目[Project Supported by National Natural Science Foundation of China and by Cooperation Plan Between China and Australia]. （）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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