金刚石厚膜的微结构研究

姜志刚冯玉玲郑涛李红东李博郑艳彬林志伟

高压物理学报2008，Vol.22Issue(3)：265-268,4.

Investigation on Grain Boundaries and Related Abradability of Diamond Thick Films

姜志刚 ¹冯玉玲 ²郑涛 ²李红东 ¹李博 ¹郑艳彬 ¹林志伟¹

作者信息

金刚石厚膜/等离子体刻蚀/生长特性/晶界

数理科学

姜志刚,冯玉玲,郑涛,李红东,李博,郑艳彬,林志伟..金刚石厚膜的微结构研究[J].高压物理学报,2008,22(3):265-268,4.

吉林省科技攻关项目(20070314) （20070314）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-5773

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