红外与毫米波学报2000,Vol.19Issue(4):266-268,3.
GexC1-x薄膜在红外增透保护膜系设计和制备中的应用
APPLICATION OF GexC1-xFILMS TO DESIGN AND DEPOSITION OF INFRARED ANTIREFLECTION AND PROTECTION FILMS
摘要
关键词
GexC1-x薄膜/射频磁控反应溅射/膜系设计/红外增透保护膜系分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋建全,刘正堂,于忠奇,耿东生,郑修麟..GexC1-x薄膜在红外增透保护膜系设计和制备中的应用[J].红外与毫米波学报,2000,19(4):266-268,3.基金项目
航空科学基金(编号 93G53120)资助项目 (编号 93G53120)