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半绝缘GaAs单晶化学配比的X射线双晶衍射Bond方法测量

王玉田 陈诺夫 何宏家 林兰英

半导体学报Issue(4):267,1.
半导体学报Issue(4):267,1.

半绝缘GaAs单晶化学配比的X射线双晶衍射Bond方法测量

王玉田 1陈诺夫 1何宏家 1林兰英1

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摘要

关键词

砷化镓/X射线双晶衍射/Bond法

分类

信息技术与安全科学

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王玉田,陈诺夫,何宏家,林兰英..半绝缘GaAs单晶化学配比的X射线双晶衍射Bond方法测量[J].半导体学报,1998,(4):267,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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