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硅集成电感元件的分析、设计与优化

张跃鲤 张文俊

半导体学报2005,Vol.26Issue(z1):268-272,5.
半导体学报2005,Vol.26Issue(z1):268-272,5.

硅集成电感元件的分析、设计与优化

Analysis, Design, and Optimization of Si Inductors

张跃鲤 1张文俊1

作者信息

  • 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

FDTD方法/品质因数/电感值/电阻值/设计参数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张跃鲤,张文俊..硅集成电感元件的分析、设计与优化[J].半导体学报,2005,26(z1):268-272,5.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2004AA1Z1050) (批准号:2004AA1Z1050)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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