量子电子学报2006，Vol.23Issue(2)：268-272,5.
激光法制备纳米氮化硅及其光谱特性研究
Study on preparation and spectra characteristics of nano Si3N4 by laser method
陈磊 1黄永攀 1浦坦 1郭晓勇 1赵文武 1张为俊1
作者信息
- 1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031
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摘要
关键词
光电子学/LICVD/氮化硅/双光束激发/红外吸收光谱/拉曼光谱分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈磊,黄永攀,浦坦,郭晓勇,赵文武,张为俊..激光法制备纳米氮化硅及其光谱特性研究[J].量子电子学报,2006,23(2):268-272,5.
