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半导体学报
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二维离子注入的改进模型及数值模拟
二维离子注入的改进模型及数值模拟
徐晨曦
阮刚
王建伟
半导体学报
Issue(3)：269,1.
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半导体学报
Issue(3)
：269,1.
二维离子注入的改进模型及数值模拟
徐晨曦
1
阮刚
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王建伟
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徐晨曦,阮刚,王建伟..二维离子注入的改进模型及数值模拟[J].半导体学报,1988,(3):269,1.
半导体学报
OA
CSCD
ISSN：
1674-4926
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