半导体学报2007,Vol.28Issue(2):269-274,6.
新型激光驱动可变形反射镜的模型、研制及特性
Modeling, Fabrication, and Characterization of a Novel Optically Driven Deformable Mirror
摘要
关键词
自适应光学/可变形反射镜/光驱动/光学特性分类
电子信息工程引用本文复制引用
向东,王青玲,张光勇,周丽娜..新型激光驱动可变形反射镜的模型、研制及特性[J].半导体学报,2007,28(2):269-274,6.基金项目
总装备部预研基金资助项目(批准号:41321030202) (批准号:41321030202)