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硅液相外延生长的晶向自动偏离现象

江鉴 张仕国

上海航天Issue(1)：27,1.
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上海航天Issue(1)：27,1.

硅液相外延生长的晶向自动偏离现象

江鉴 1张仕国2

作者信息

  • 1. 上海航天技术研究院809所
  • 2. 浙江大学硅材料国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜工艺/液相外延/晶体生长/硅/自动偏离

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

江鉴,张仕国..硅液相外延生长的晶向自动偏离现象[J].上海航天,1999,(1):27,1.

上海航天

2096-8655

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