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微波PCVD法生长金刚石薄膜

张志明

人工晶体学报Issue(1)：27,1.
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人工晶体学报Issue(1)：27,1.

微波PCVD法生长金刚石薄膜

张志明1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

金刚石/薄膜/微波/化学汽相沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

张志明..微波PCVD法生长金刚石薄膜[J].人工晶体学报,1993,(1):27,1.

人工晶体学报

OACSCD

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