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砷化镓晶片表面的XPS研究
砷化镓晶片表面的XPS研究
任殿胜
王为
李雨辰
严如岳
液晶与显示
2002，Vol.17
Issue(4)：270-274,5.
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液晶与显示
2002，Vol.17
Issue(4)
：270-274,5.
砷化镓晶片表面的XPS研究
XPS Study of Surface Properties of GaAs Wafers
任殿胜
1
王为
2
李雨辰
1
严如岳
2
作者信息
1.
天津大学,化工学院,天津,300072
2.
信息产业部,电子第四十六研究所,天津,300192
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摘要
关键词
砷化镓
/
表面
/
XPS
分类
数理科学
引用本文
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任殿胜,王为,李雨辰,严如岳..砷化镓晶片表面的XPS研究[J].液晶与显示,2002,17(4):270-274,5.
液晶与显示
OA
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1007-2780
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