电子器件2005，Vol.28Issue(2)：271-274,4.
中频交流脉冲等离子体源的研究
Study on an Alternative Current Middle Frequency Pulsed Plasma Power Supply
陈侃松 1顾豪爽 1孙奉娄 2危立辉2
作者信息
- 1. 湖北大学物理学与电子技术学院,武汉,430062
- 2. 中南民族大学电子信息工程学院,武汉,430074
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摘要
关键词
中频交流脉冲等离子体源/弧光放电/空心阴极效应/离子渗氮分类
数理科学引用本文复制引用
陈侃松,顾豪爽,孙奉娄,危立辉..中频交流脉冲等离子体源的研究[J].电子器件,2005,28(2):271-274,4.
