退火对NiCr薄膜阻值的影响分析

谢生侯玉文陈朝毛陆虹陈松岩

华侨大学学报（自然科学版）2009，Vol.30Issue(1)：27-29,3.

Analysis the Influence of Annealing on the Resistance of NiCr Thin Film

谢生 ¹侯玉文 ¹陈朝 ²毛陆虹 ¹陈松岩²

作者信息

镍铬/薄膜电阻/热退火/磁控溅射

数理科学

谢生,侯玉文,陈朝,毛陆虹,陈松岩..退火对NiCr薄膜阻值的影响分析[J].华侨大学学报（自然科学版）,2009,30(1):27-29,3.

国家自然科学基金重点资助项目(60736035) （60736035）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1000-5013

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