光学精密工程2004,Vol.12Issue(z1):27-30,4.
微装配技术的发展现状及关键技术
Review of micro-assembly and its key technology
摘要
关键词
微机电系统/微装配/微夹持器/显微视觉分类
机械制造引用本文复制引用
段瑞玲,李庆祥,李玉和..微装配技术的发展现状及关键技术[J].光学精密工程,2004,12(z1):27-30,4.基金项目
973国家重大基础研究项目(2003CB716201) (2003CB716201)