人工晶体学报2007，Vol.36Issue(1)：27-31,51,6.
HFCVD系统中衬底接触热阻的研究
Determination of Thermal Contact Resistance between Substrate and Its Support in Hot Filament CVD
摘要
关键词
热丝化学气相沉积法/接触热阻/有限元/温度场/金刚石膜分类
数理科学引用本文复制引用
李磊,左敦稳,徐锋,黎向锋,卢文壮..HFCVD系统中衬底接触热阻的研究[J].人工晶体学报,2007,36(1):27-31,51,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.50275076) （No.50275076）
