中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：27-32,6.
硅微机械扭转微镜的研究进展
Progress of Si-based MEMS Torsion Micromirror
栗大超 1吴文刚 2闫桂珍 2傅星 2郝一龙 1胡小唐2
作者信息
- 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
- 2. 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100081
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摘要
关键词
MEMS/扭转微镜/压电驱动/电磁驱动/电热驱动/静电驱动分类
机械制造引用本文复制引用
栗大超,吴文刚,闫桂珍,傅星,郝一龙,胡小唐..硅微机械扭转微镜的研究进展[J].中国机械工程,2005,16(z1):27-32,6.
