中国机械工程2003，Vol.14Issue(4)：274-277,4.
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
Study on the Design of Anti-sticking Structures in MEMS under Different Forces
摘要
关键词
微型机械/表面张力/Casimir力/稳定性/粘附分类
机械制造引用本文复制引用
丁建宁,范真,李长生,温诗铸..多晶硅微机械抗粘附结构参数设计[J].中国机械工程,2003,14(4):274-277,4.基金项目
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(2000000338) （2000000338）
江苏大学高级人才基金(6810000018) （6810000018）
