中国机械工程2008，Vol.19Issue(22)：2748-2752,5.
单晶硅各向异性对固结磨料线锯切片质量的影响
Study on Effects of Monocrystalline Silicon Anisotropy on Slicing Wafer Quality Using Fixed--abrasive Wire Saw
摘要
关键词
线锯/单晶硅/切片/各向异性分类
化学化工引用本文复制引用
高玉飞,葛培琪,赵慧利,张磊..单晶硅各向异性对固结磨料线锯切片质量的影响[J].中国机械工程,2008,19(22):2748-2752,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50475132) （50475132）
山东省自然科学基金资助项目(Y2006F16) （Y2006F16）
