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CO2离化团束对Si基板表面的辐照效应

田民波 山田公

半导体学报Issue(4)：275,1.
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半导体学报Issue(4)：275,1.

CO2离化团束对Si基板表面的辐照效应

田民波 1山田公2

作者信息

  • 1. 清华大学材料科学与工程系
  • 2. 日本京都大学离子工学实验室
  • 折叠

摘要

关键词

二氧化碳/气体离化团束/硅/辐照效应

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

田民波,山田公..CO2离化团束对Si基板表面的辐照效应[J].半导体学报,1997,(4):275,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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